半導體行業(yè)液氮真空管通過易于安裝,更低的熱泄漏和緊密公差的卡口接頭連接,適用于MBE工藝以及半導體組裝和測試設施中集成芯片(IC)的冷測試。
半導體行業(yè)液氮真空管的特點:
外形美觀,安裝便捷易使用
拋光不銹鋼制作,真空法蘭連接,易裝易拆卸;
結構合理,不冒汗,蒸發(fā)率低
引進高真高多層絕熱制造技術;
快速絕熱,強度高,**可靠
管道端部絕熱支撐采用了平衡強度設計,**可靠;
采用品質優(yōu)良的絕熱材料
采用國外生產的超細玻纖包扎層和超薄屏蔽材料;
半導體行業(yè)液氮真空管技術參數:
管路通徑 |
DN10 |
DN20 |
DN25 |
DN40 |
DN50 |
DN60 |
DN80 |
DN100 |
|
主要材質 |
0Cr18Ni9 |
||||||||
壓力等級 |
≯35MPa |
≯23MPa |
|||||||
內管補償方式 |
自然補償器 |
波紋補償器 |
|||||||
低介質溫度 |
-253°C |
||||||||
焊縫漏率 |
≯1×10-9Pa·m3/s |
||||||||
總體漏放氣速率 |
≯1×10-8Pa·m3/s |
||||||||
封口真空度 |
≯1.33×10-3Pa |
||||||||
真空壽命 |
大于4年 |
||||||||
機械壽命 |
30年 |
||||||||
連接方式 |
螺紋連接/小真空連接 |
法蘭連接/小真空連接 |
|||||||
傳熱值 |
直管段 |
≯0.45W/m |
≯0.8W/m |
≯1.0W/m |
|||||
焊接接頭 |
≯8W/m |
≯11W/m |
≯14W/m |
||||||
法蘭連接 |
≯28W/m |
≯40W/m |
≯40W/m |